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    日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器

    更新時間:2025-01-23

    簡要描述:

    日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
    日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
    金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
    內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
    ±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
    適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場合

    廠商性質:代理商點擊量:2200
    日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
    產地進口加工定制
    質保1年

    日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器
    日本KOFLOC5100系列質量流量控制器-內拋光
    金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
    內部拋光Ra≤0.1,杜絕二次污染介質
    ±15VDC供電性能穩定,0-5V模擬信號更加通用
    適用于高真空、半導體以及對管路潔凈度高要求場合

    日本科賦樂內拋光系列質量流量控制器

    性能參數:

     

    量程(N2)

    1SCCM-20SLPM

    精度

    ±1.0%FS

    重復性

    ±0.2%FS

    響應時間

    1秒以內

    耐壓

    1.0Mpa

    進口大壓力

    O.3Mpa

    動作壓差

    0.05-0.3Mpa

    泄漏率

    1*10-11pa·m³/s以下

    內拋光

    Ra≤0.1

    溫度范圍

    5-45℃

    濕度范圍

    10-90%RH(不能結露)

    材質

    本體SUS316L

     

    密封圈SUS316L、PTFE

    電氣接口

    DB9

    模擬信號

    0-5V輸入/輸出

    供電

    +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

    管路連接

    標配1/4UJR

     

    選配1/8UJR

    重量

    約1000g

     

        ★使用注意

     

    一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。

    二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

    三:安裝前,請將設備管路進行整體吹掃。

    四:耐壓1.0Mpa,進口大壓力5公斤。

    五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。

     

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