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    日本科賦樂(lè)金屬密封質(zhì)量流量計(jì)

    更新時(shí)間:2025-01-23

    簡(jiǎn)要描述:

    日本科賦樂(lè)金屬密封質(zhì)量流量計(jì)
    5410系列質(zhì)量流量計(jì)-金屬密封
    金屬密封,泄漏率1*10-11pa&#183;m&#179;/s以下
    適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下
    &#177;15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用

    廠商性質(zhì):代理商點(diǎn)擊量:1147
    日本科賦樂(lè)金屬密封質(zhì)量流量計(jì)
    產(chǎn)地進(jìn)口加工定制
    質(zhì)保1年

    日本科賦樂(lè)金屬密封質(zhì)量流量計(jì)

    5410系列質(zhì)量流量計(jì)-金屬密封
    金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
    適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下
    ±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號(hào)更加通用

    日本科賦樂(lè)金屬密封質(zhì)量流量計(jì)

    性能參數(shù):

     

    量程(N2)

    10SCCM-20SLPM(另外50SLM

    精度

    ±1.0%FS

    重復(fù)性

    ±0.2%FS

    響應(yīng)時(shí)間

    1秒以內(nèi)

    耐壓

    1.0Mpa

    進(jìn)口大壓力

    O.5Mpa

    泄漏率

    1*10-11pa·m³/s以下

    溫度范圍

    5-45℃

    濕度范圍

    10-90%RH(不能結(jié)露)

    材質(zhì)

    本體SUS316L

     

    密封圈SUS316L、PTFE

    電氣接口

    DB9

    模擬信號(hào)

    0-5V輸出

    供電

    +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

    管路連接

    標(biāo)配1/4UJR

     

    選配1/8UJR

    重量

    約800g

    電器連接:

     

    針腳/顏色

    定義

    1針腳/棕色

    2針腳/白色

    0-5V輸出

    3針腳/紅色

    +15VDC

    4針腳/黑色

    電源COM

    5針腳/黃色

    -15VDC

    6針腳/灰色

    7針腳/綠色

    輸出COM

    8針腳/蘭色

    9針腳/紫色

     

     ★使用注意

    一:進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

    二:用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

    三:安裝前,請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

    四:耐壓1.0Mpa,進(jìn)口大壓力5公斤。

    五:需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候,確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。

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