Alicat 大流量氣體流量計(jì)測量范圍廣,可達(dá) 0.5 SCCM - 10000 SLPM。采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),能使大流量下氣體保持層流。內(nèi)置絕壓和溫度傳感器,可對(duì)壓力、溫度引起的流量差異進(jìn)行補(bǔ)償。具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書。產(chǎn)品為數(shù)字化設(shè)計(jì),可多參數(shù)顯示和輸出,響應(yīng)時(shí)間快,內(nèi)置多種氣體,還可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體,廣泛應(yīng)用于工業(yè)爐窯、半導(dǎo)體、汽車制造等多種流量測控場合。